高純氬氣不僅用于焊接不銹鋼制造冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積晶體生長熱氧化外延擴散多晶硅鎢化離子注入載流燒結(jié)等，氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣，可以提高硅晶體的質(zhì)量
的介紹
氬氣是一種是一種無色，也是稀有氣體中的一員。它的氣體密度是空氣的1.4倍，氦氣的10倍。在21.1℃和101. 3kPa下氣體相對密度1.38。氬氣密度1- 650kg.m-3 (21.1℃，101. 3kPa)，液氬密度1394.0kg．m-3(一185.9℃，101. 3kPa)。
氬氣還是一種單原子不具化學(xué)活性的惰性氣體，它的性質(zhì)非常穩(wěn)定，因為氬氣的所有電子完全配對，不存在任何成鍵軌道，所以在常溫常壓下不會與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。
氬氣沒有毒性，但在高濃度狀態(tài)下，會使氧分壓降低而發(fā)生窒息。在氬氣濃度達到50%以上，能夠引起嚴重癥狀；當(dāng)氬氣濃度達到75%時，僅僅幾分鐘便會窒息而死。
氬氣是利用空氣分離，將液化空氣蒸餾獲得的，再經(jīng)過進一步凈化，就可以得到高純氬。液氬是將高純氬氣壓縮成液體氣體，儲存在杜瓦罐中。
高純氬氣的國家標準是GB/T10624-1995，純度要求達到99.999%以上。
氬氣是利用空氣分離提氬，對液化空氣進行蒸餾，得到粗氬。經(jīng)過進一步凈化，可以得到高純氬。高純氬用于半導(dǎo)體工業(yè)頂部生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的維護氣體;可用于系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓的惰性氣體;用于化學(xué)氣相堆積、濺射和退火。高純氬也可用作色譜載氣。氬廣泛用于填充弧光、熒光燈和電子管;焊接維護氣體;鈦、鈷等活性金屬的生產(chǎn)頂部用作屏蔽氣體；用于吹制黑色冶金頂部的特種鋼。
液氬是將高純氬氣壓縮成液體氣體，儲存在杜瓦罐中。液氬在使用時釋放氣相。當(dāng)液氬儲存在杜瓦罐中時，會有一個自然的增壓過程。當(dāng)其壓力過高時，杜瓦罐會安全泄壓。在這個自然增壓和減壓的過程中，氬氣很容易釋放。
氬氣是目前工業(yè)上用途非常廣的稀有氣體，它的性質(zhì)十分不活潑，不燃燒也不助燃。在飛機制造、造船、原子能工業(yè)和機械工業(yè)領(lǐng)域，對特殊金屬，例如鋁鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼在焊接時，往往用作為焊接保護氣，防止焊接件被空氣氧化或氮化；
氬氣還用于鋼鐵、鋁、鈦和鋯的冶煉中，熱處理工藝也用于代替和氨氣，效果更是超過氮氣和氨氣，不銹鋼熱處理時采用氬氣保護折彎效果更好不易斷裂；
在通電后，放電時氬發(fā)出紫色輝光，又用于照明技術(shù)和填充日光燈、光電管、照明管等；
在釀酒的過程中，還可以使用氬氣作為啤酒桶里的填充氣體，它可以把置換，以避免啤酒原料被氧化成乙酸；
高純氬氣不僅用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等，氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣，可以提高硅晶體的質(zhì)量。高純氬氣可用于系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓的惰性氣體，高純氬也可用作色譜載氣。
